西北工业大学主办第25届世界微机械会议(2)

建立了我国第一个微系统工程系，编著的《微机电系统》被列为MEMS领域唯一的国家级规划教材， 2014年获国家教学成果一等奖1项，同时建立了国家“111”引智基地，与多所国际著名大学建立了良好合作关系。

该实验室一些研究团队研发成功或正在研发微机械测试仪器或关键核心器件。

2018年4月17日，世界上第一台(套)流体壁面剪应力测试仪由马炳和教授团队研制成功。这台测试仪充分利用了微机电系统(MEMS)技术高度集成、灵敏度高、动态性好的独特优势，通过建立微加工工艺及测试规范，研发出柔性热敏薄膜微传感器和浮动式剪应力微传感器两类关键核心器件。同时，仪器配备多通道探头，能捕捉不同位置流场数据并进行流动状态分析，并具有高时间/空间分辨率、对流场干扰小的优点。仪器为C919、ARJ21等大型客机以及航空发动机、水下航行器和等气动及水动力学优化设计提供了有力技术支持。

2018年5月，常洪龙教授团队与迈瑞医疗合作，研制出适用于太空环境的健康检测仪，成功实现在微重力环境对乘员进行快速在轨血检，目前已完成了多项测试和验证，被认为是目前体积最小、重量最轻的太空航行用全自动流式细胞仪。

乔大勇教授带领团队自主研制了静电驱动的MEMS微振镜，并利用MEMS微振镜投射激光结构光，研制出低成本和小体积的三维相机。三维相机使机器人动态获得场景和被操作对象的三维几何信息，能够智能调整运动轨迹和动作，完成多个任务并应对工作环境中不可预见的突发情况。同时，三维相机能极大提高人脸识别技术在智能解锁，人证合一和身份查验等安防领域的应用价值。

何洋副教授发现了冰雪中翠绿盎然的秦岭箭竹，继而采用仿生微纳技术将秦岭箭竹叶的表皮完美复制，制作出“疏冰蒙皮”，贴在中小型无人机易结冰部位，其防除冰效果得到了无人机飞行试验验证。