走一条“硬核”科技路

原标题：走一条“硬核”科技路

　　7月29日，上海科技馆，浦东新区大企业开放创新中心计划正式发布。这项倡导科技领军企业从专注自身研发到谋求开放合作的计划，意味着浦东在协同创新生态上先行先试，推出了又一强力“引擎”。而首批参与计划的大企业中，浦东人看到了熟悉的名字：罗氏——当年第一家入驻浦东张江的跨国企业。

　　1992年，上海张江高科技园区成立，面积只有17平方公里。1993年，罗氏将中国的首个工厂选址这里时，面对的尚是“一片农田”。如今，张江从一片田野中强势崛起，罗氏在这里的布局也由一间制药厂，升级为助力孵化本土科研的开放创新中心，为张江从“逐梦”到“造梦”的转变留下生动例证。

　　不久前，《中共中央 国务院关于支持浦东新区高水平改革开放打造社会主义现代化建设引领区的意见》（以下简称《意见》）正式发布，为浦东新区擘画了宏伟蓝图，也为张江发展指明了前进方向。上海市随后发布的张江科学城发展“十四五”规划提出，到2025年将张江科学城打造成为大师云集的科技创新策源地、硬核主导的高端产业增长极、共治共享的创新生态共同体、活力四射的国际都市示范区。

　　昔日阡陌农田，如今科学之城。田野中崛起的张江，要走一条“硬核”科技路。

　　勇立潮头的科创策源地

　　东方风来,浦江奔涌。再添改革动力的张江科学城如何服务于浦东新区建设？《意见》里指导思想明确：勇于挑最重的担子、啃最硬的骨头。对于张江来说，突破关键核心技术和培育高端产业无疑是重中之重。

　　开发开放30多年，浦东一开始就把“高科技先行”战略放在了重要的位置，避免追求短期效应、重复引进各类流水线，而是早早地在集成电路、生物医药等一批新型产业、高新技术产业落子布局。

　　从上海地铁2号线张江高科站出发，步行不到一公里就可到达上海微电子港、中兴研发大楼，继续往东走，可以看到中芯国际、华虹宏力半导体制造有限公司等集成电路领域的龙头企业。在全球芯片供应紧张的背景下，小小的张江正积聚着国产半导体芯片的底气。

　　“2004年成立之时，我们就选择自主研制中国的等离子刻蚀机。”创立于张江的中微半导体设备（上海）股份有限公司负责人说。同光刻机一样，等离子刻蚀机也是半导体芯片微观加工的关键设备。在10多年的探索中，他们成功攻克了5纳米刻蚀机制造技术，成为我国半导体设备领军企业。

　　近两年来，张江在集成电路关键核心技术上不断突破：14纳米工艺制程芯片实现量产，12纳米工艺开发取得突破，第三代90纳米嵌入式闪存工艺平台实现量产……自主创新带动产业集群，217家相关企业云集张江，形成中国最完善、最齐全的集成电路产业链布局。

　　核心科技的突破，离不开基础研究层面的大力投入。张江的硬实力，还在于一系列大科学设施为众多科研项目提供支撑。

　　当前，被视作已知最高光强光源的超强超短激光，是激光建设的“兵家必争之地”。而世界首台10拍瓦激光实验装置——上海超强超短激光实验装置就位于张江。

　　中国科学院上海光学精密机械研究所副所长冷雨欣介绍，项目自2016年立项以来多次实现技术突破，创下国际最高激光峰值功率纪录。依托该项目，上海光机所成功研制了国际最大口径钛宝石晶体等核心器件。目前，装置已初步开放，质子加速、电子加速、高亮度等离子体高次谐波和阿秒脉冲产生等实验正在进行中。

　　下一步，科研团队瞄准的是100拍瓦激光装置。“装置建设过程中，在上海市、浦东新区政府等支持下，实现了当年批复、当年开工、当年建设，这是非常难能可贵的。”冷雨欣说，《意见》发布后更加期待体制机制上的改革突破，有助于国际优秀基础科研人才的引进和落地。