氧化镓半导体器件领域研究取得重要进展

光山新闻网 采集侠 2022-12-13 10:42:07
浏览

小字号

原标题:氧化镓半导体器件领域研究取得重要进展

科技日报合肥12月12日电 (记者吴长锋)12日,记者从中国科学技术大学获悉,日前在美国旧金山召开的第68届国际电子器件大会(IEEE IEDM)上,中国科大国家示范性微电子学院龙世兵教授课题组两篇关于氧化镓器件的研究论文(高功率氧化镓肖特基二极管和氧化镓光电探测器)被大会接收。

IEEE IEDM是一个年度微电子和纳电子学术会议,是报告半导体和电子器件技术、设计、制造、物理和建模等领域的关键技术突破的世界顶级论坛,其与ISSCC、VLSI并称为集成电路和半导体领域的“奥林匹克盛会”。

如何开发出有效的边缘终端结构,缓解肖特基电极边缘电场是目前氧化镓肖特基二极管研究的热点。由于氧化镓P型掺杂目前尚未解决,PN结相关的边缘终端结构一直是难点。龙世兵课题组基于氧化镓异质PN结的前期研究基础,将异质结终端扩展结构成功应用于氧化镓肖特基二极管。该研究通过合理设计优化JTE区域的电荷浓度,确保不影响二极管正向特性的同时最大化削弱肖特基边缘电场,从而有效提高器件的耐压能力。优化后的器件实现了2.9mΩ·cm^2的低导通电阻和2.1kV的高击穿电压,其功率品质因数高达1.52GW/cm^2。此外,利用该优化工艺成功制备并封装了大面积的氧化镓肖特基二极管,器件正向偏压2V下电流密度达到180A/cm^2,反向击穿电压高达1.3kV。

光电探测器在目标跟踪、环境监测、光通信、深空探索等诸多领域发挥着越来越重要的作用。响应度和响应速度是光电探测器的两个关键的性能参数,然而这两个指标之间存在着制约关系,此消彼长。龙世兵团队通过引入额外的辅助光源实现对向光栅(OPG)调控方案,来缓解上述制约关系。

该工作提出了一种光电探测器芯片内千万像素共享一颗辅助LED即可缓解响应度与响应速度之间的制约关系的策略,对光电探测芯片综合性能的提升有重要参考意义。


(责编:罗知之、陈键)

关注公众号:人民网财经

关注公众号:人民网财经

分享让更多人看到

推荐阅读 共促能源转型发展 中国油企与沙特能源企业再签炼油化工合作协议     人民网北京12月12日电 (记者杜燕飞)记者从中国石化获悉,日前,中国石化与沙特阿美就福建古雷二期项目签署了合作框架协议,二期项目计划建设1600万吨/年炼油、150万吨/年乙烯裂解及下游衍生物一体化装置,预计2025年底建成投产。 同时,中国石化与沙特阿美、沙特基础工业公司签署了合作谅解备忘录,拟在沙特延布联合开发大型将液体原料转化成化工产品的项目,该项目将与延布炼厂实现协同优化。…    
《报告》预计:2022年中国海洋石油产量5862万吨 同比增长6.9%     人民网北京12月12日电 (记者杜燕飞)中国海油集团能源经济研究院日前发布的《中国海洋能源发展报告2022》(以下简称《报告》)预计,2022年中国海洋油气产量再创新高,海洋石油将贡献全年中国石油增产量一半以上。 2022年,受油气价格大幅攀升带动,全球海洋油气投资大幅增长。…